เครื่องดูดฝุ่น

มีกำลังการผลิตสูงถึง 14,000 ลูกบาศ์กฟุตต่อนาที โดยมีช่วงแรงดันใช้งานตั้งแต่ 10-2 torr ถึงต่ำกว่า 10-11 torr ความเร็วสูงสุดของปั๊มได้รับการพัฒนาในช่วงแรงดันตั้งแต่ประมาณ 10-6 ถึง 10-8 torr แม้ว่าลักษณะเฉพาะที่แรงดันต่ำกว่าจะขึ้นอยู่กับการออกแบบปั๊ม ปั๊มนี้ใช้หลักการสปัตเตอริง เครื่องดูดฝุ่น ซึ่งวัสดุแคโทด เช่น ไททาเนียมจะระเหยเป็นไอ—หรือสปัตเตอร์โดยการระดมยิงด้วยไอออนความเร็วสูง ก๊าซที่ใช้งานจะถูกสูบโดยการผสมทางเคมีกับไททาเนียมที่สปัตเตอร์ ก๊าซเฉื่อยโดยการแตกตัวเป็นไอออนและการฝังตัวในแคโทด และก๊าซเบาโดยการแพร่กระจายเข้าไปในแคโทด